住友重機械工業株式会社（本社：東京都品川区）が、2026年5月に米国カリフォルニア州サンノゼの既存子会社（Sumitomo Cryogenics of America, Inc.）の事業所内に「Semiconductor Subsystems and Components R&D Center」を開設しました。（プレスリリース）
- 住友重機械工業がサンノゼに半導体サブシステム・コンポーネントのR&D拠点を開設。
- 精密ステージ・モーションコンポーネント・ロボット技術の次世代半導体製造装置への応用を米国パートナーと共同で研究開発する。
- クラス100（最高クリーン度）・VC-Eランク（最先端ナノ加工レベルの低振動）のクリーンルームを備え、ナノメートル級の精密評価が可能な研究開発環境を整えた。
住友重機械工業が、米国半導体装置市場への本格的な技術投資を加速させる。同社は2026年5月、カリフォルニア州サンノゼの子会社Sumitomo Cryogenics of America, Inc.の事業所内に「Semiconductor Subsystems and Components R&D Center」を開設した。精密ステージ・モーションコンポーネント・ロボット技術の分野で、米国の半導体装置メーカーや研究機関（米国パートナー）との共創・協働を推進するための実践型R&D拠点だ。
センターの最大の特徴は、研究開発環境の精度だ。面積約150平方メートルのクリーンルームは、クラス100（米国連邦規格209E準拠）の高クリーン度環境と、VC-Eランク（最先端ナノ加工に適用可能なレベル）の低振動環境を兼ね備える。ナノメートル級の位置決め評価・動特性解析など、次世代半導体製造装置に求められる高度な技術検証を、米国の顧客や研究機関と連携しながら現地で実施できる体制を構築した。
住友重機械は「半導体」と「ロボティクス・自動化」を重点投資領域として位置づけており、今回のサンノゼ拠点はその戦略の具体的な一歩だ。米国パートナーとの共創を通じて、アプリケーション領域の拡大・顧客課題の早期解決・新たな事業機会の創出を目指すとのこと。
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